פיתוח מפעל חמצן VPSA

בשנת 1891 החלה חברת Linde הגרמנית לעבוד על הנזלת אוויר במעבדה של החברה לייצור מכונות קירור.
בשנת 1895, פרופסור לינד יצר את מכשיר האוויר הנוזלי הראשון באמצעות אפקט ג'ול-תומסון.
בשנת 1901 הקימה לינד מפעל לייצור ציוד קריוגני במינכן.
בשנת 1902 הושלם ציוד הפרדת האוויר למגדל התיקון החד-שלבי הראשון שתוכנן על ידי לינדה. קראוט הצרפתי המציא את מכונת ההרחבה והקים את חברת Air Liquefaction בפריז.
בשנת 1903 יצרה לינד את מחולל החמצן התעשייתי הראשון של 10 מ"ק לשעה, תוך שימוש בתהליך מצערת בלחץ גבוה.
בשנת 1910, צרפת יצרה את מחולל החמצן הראשון של 50m3/h תוך שימוש בתהליך לחץ בינוני עם מכונת הרחבת בוכנה.
בשנת 1920 המציאה היילנד, גרמניה, תהליך בלחץ גבוה להפקת חמצן נוזלי עם מכונת התפשטות בלחץ גבוה.
בשנת 1924, פרנקל הציע שבציוד גדול להפרדת אוויר, יש להשתמש במקררים מלאי מתכת במקום מחליפי חום רגילים.
בשנת 1926, פרנקל הציע את הצורה הנפוצה מצבר קור.
בשנת 1930 יצרה לינד את יחידת לינד פרנקל הראשונה בקנה מידה תעשייתי עם תפוקה של 255m3/h וטוהר של 99.5 אחוז O2.
בשנת 1932, הטורבו מרחיב שימש לראשונה ביחידת לינד-פרנקל. חמצן שימש לראשונה במטלורגיה ובסינתזה של אמוניה בגרמניה.
בשנת 1939, ברית המועצות יצרה מרחיב טורבו בעל יעילות גבוהה, והחלה לחקור את הציוד המלא להפרדת אוויר בלחץ נמוך.
בשנת 1947, לינד הקדישה את עצמה לציוד לייצור חמצן תעשייתי בלחץ תחתון מלא. ברית המועצות החלה לתכנן מפעלי חמצן תעשייתיים גדולים עם תהליכי לחץ נמוך מלאים.
בשנת 1949, ארצות הברית בפעם הראשונה מחולל חמצן 29000m3/h על יישום של מחליף חום עיוות צלחת.
בשנת 1952, אוסטריה השתמשה לראשונה בממיר עילי חמצן טהור לייצור פלדה, מה שגרם לעלייה חדה בחמצן מתכתי.
ב-1955 פיתחה ארצות הברית טילים במרץ וצרכה כמות גדולה של חמצן נוזלי כמאיץ.
בשנת 1957 יוצר מחולל החמצן הראשון המופעל אוטומטית של 120 טון ליום.
בשנת 1960 השלימה יפן 10000m3/h99.6 אחוזים O2 ו-10000m3/h99.99 אחוזים N2 ציוד בקנה מידה גדול מלא בטוהר גבוה.
בשנת 1972, צרפת יצרה את הקיבולת הגדולה בעולם של ציוד הפרדת אוויר חמצן טהור: 1700 טון O2 ליום ו-1500 טון N2 ליום.
יחידות גדולות יותר עדיין נמצאות במחקר.