מחולל חמצן PSA למוליך למחצה

מדוע תעשיית המוליכים למחצה זקוקה לגנרטורי חמצן PSA?

 

אספקת גז טוהר גבוה:לייצור מוליכים למחצה יש דרישות קפדניות לגבי טוהר הגז, וחמצן בעל טוהר גבוה הוא הכרחי לליטוגרפיה, ניקוי וקישורים אחרים. בעזרת טכנולוגיית ספיחת נדנדה בלחץ, מחולל חמצן PSA מייצר חמצן עם טוהר של 95%± 3%, העומד בדרישות היווצרות שכבת תחמוצת וניקוי רקיק, ונמנע מהסיכון לזיהום טומאה של אספקת חמצן גז מסורתי.
להבטיח יציבות תהליכים:קווי ייצור מוליכים למחצה דורשים אספקת גז רציפה ויציבה. מחולל חמצן של PSA משתמש במגדלי ספיחה כפולים כדי לעבוד לסירוגין, ובאמצעות שליטה חכמה של PLC, הוא יכול להשיג 24- שעה אספקת חמצן ללא הפרעה, להימנע מהפרעות ייצור הנגרמות כתוצאה מהחלפת בקבוקים ידנית, ולהסתגל לתהליכים רגישים ללחץ אוויר כגון תצהיר סרטים דקים וחרוט.
להפחית את העלויות ולבצע אופטימיזציה של המרחב:בהשוואה למיכלי אחסון חמצן נוזלי וגלילי גז בלחץ גבוה, מחוללי חמצן PSA מייצרים חמצן באתר, ומפחיתים מאוד את עלויות ההובלה והאחסון. יש לו טביעת רגל קטנה ותומכת בהתרחבות מודולרית, העונה על הצרכים של מקסימום ניצול החלל בסדנאות נקייה של מפעלי מוליכים למחצה. עלות השימוש לטווח הארוך נמוכה בכ- 20% מהשיטה המסורתית.
להסתגל לתהליכים מיוחדים:בתהליכים מתקדמים, כמה תהליכים מיוחדים דורשים שליטה מדויקת בריכוז החמצן. מחולל החמצן PSA יכול להתאים באופן גמיש את טוהר תפוקת החמצן (95%-99. 9%) על ידי התאמת לחץ הספיחה ויחס המסננת המולקולרית כדי לעמוד בדרישות התהליך המיוחדות של ייצור זיכרון פלאש תלת -ממדי.
ידידותי לסביבה וקל לתחזוקה:טכנולוגיית PSA אינה דורשת ריאגנטים כימיים, ותהליך ייצור החמצן אינו פולט חומרים מזיקים, העומדים בתקני הגנת הסביבה של ענף המוליכים למחצה. הציוד משתמש בפלדת אל חלד בכיתה מזון ובמיסנים מולקולריים המניקים את עצמם, עם מחזור תחזוקה של עד {}}} שנים, ומתאים לסביבות ייצור רקיקים עם ניקוי גבוה.
 

ייעוץ חינם

 

סוגי צמחי חמצן PSA

ציוד מודולרי

 

ציוד מגדל תאום

 

ציוד מכולה

 

1. כמה גבוה יכול להיות טוהר החמצן, והאם הוא עומד בדרישות של ייצור מוליכים למחצה?
מחולל החמצן PSA שלנו למוליכים למחצה יכול לייצר באופן שגרתי חמצן עם טוהר של 95%± 3%. עבור תהליכים מסוימים הדורשים טוהר חמצן גבוה במיוחד, על ידי התאמת פרמטרי הציוד, ניתן לשלוט בגמישות על טוהר תפוקת החמצן בטווח של 95% {}}}. 9%, העומד במלואו בדרישות המחמירות לטוהר גז בקישורי ליבה כמו ליטוגרפיה של מוליכים למחצה, ניקוי וחמצון.

2. עד כמה הציוד יציב, והאם הוא יכול להבטיח את הפעולה הרציפה של קו הייצור של מוליכים למחצה?
הציוד מאמץ מגדל ספיחה כפול מצב עבודה לסירוגין, בשילוב עם מערכת בקרה חכמה של PLC, כדי להשיג 24- שעה אספקת חמצן ללא הפרעה ויציבה. מצב פעולה אוטומטי זה נמנע מהפרעות באספקת גז הנגרמות כתוצאה מהחלפת בקבוקים ידנית, מספקת אספקת גז אמינה ויציבה לתהליכים כמו תצהיר סרט דק ותחריט הרגישים ללחץ אוויר, ומפחיתה למעשה את הסיכון להפרעות ייצור הנגרמות על ידי בעיות אספקת גז.

3. בהשוואה לשיטות אספקת חמצן מסורתיות, מה עלות השימוש?
בהשוואה למיכלי אחסון חמצן נוזלי או גלילי גז בלחץ גבוה, מחולל החמצן PSA שלנו נוקט במצב ייצור חמצן באתר, החוסך מאוד את עלויות הובלת החמצן ואחסון. הציוד תופס שטח קטן וניתן להרחיב אותו באופן מודולרי, ומפחית את עלויות השכרת האתר. בטווח הארוך העלות נמוכה בכ -20% משיטת אספקת החמצן המסורתית, מה שחוסך משמעותית את עלויות התפעול.

4. האם תחזוקת הציוד מסובכת? כמה זמן מחזור התחזוקה?
הקל לתחזוקה של הציוד, באמצעות נירוסטה בדרגה מזון וסנביות מולקולריות לניקוי עצמי, מה שמקטין מאוד את עומס העבודה של התחזוקה. בנסיבות רגילות, מחזור התחזוקה הוא כל עוד 3-5 שנים, ואנחנו מצוידים בצוות מקצועי לאחר מכירות כדי לספק תמיכה טכנית בכל עת כדי לעזור לך לפתור בעיות במהלך הפעלת הציוד.

תגיות פופולריות: מחולל חמצן PSA למוליכים למחצה, מחולל חמצן PSA סין למוליכים למחצה, ספקים, מפעל